光束質(zhì)量分析儀(Beam Mass Spectrometer)主要是利用帶電量與質(zhì)量之比的差異，在外加高頻電場的作用下對(duì)不同種類的氣體分子進(jìn)行質(zhì)譜分析。構(gòu)成由四大部分組成：離子化裝置、選擇器、檢測器和信號(hào)采集與處理系統(tǒng)。其中，離子化裝置通過碰撞、放電或激光等作用將待測試氣體分子轉(zhuǎn)化為帶電離子，并將其引入選擇器。而選擇器則通過不同形式的高頻電場的協(xié)同作用對(duì)質(zhì)量相近的離子進(jìn)行篩選和聚焦，形成一個(gè)質(zhì)量能量很少變化的離子束。檢測器則岸上信號(hào)采集與處理系統(tǒng)對(duì)離子束的信息進(jìn)行收集和處理，生成質(zhì)譜圖譜。
 

　　當(dāng)待測試物質(zhì)進(jìn)入離子化器后，一部分分子將會(huì)被離子化成電子偶。這些離子將受到正電極板的吸引力而逐漸移動(dòng)向高壓的電場區(qū)，由此在空氣中發(fā)生能譜下降。當(dāng)離子通過篩選器孔徑時(shí)，只有那些符合要求的質(zhì)量離子才能夠得以進(jìn)入到下一個(gè)區(qū)域，而質(zhì)量不匹配的離子則被篩出。選擇器對(duì)離子束進(jìn)行分選后，將剩余的離子束加速到檢測器位置，并生成帶有質(zhì)量可以確定的信息的峰值分布圖。
 

　　光束質(zhì)量分析儀具有以下特點(diǎn)和優(yōu)勢：
 

　　1.能夠通過選擇器的協(xié)同作用對(duì)離子進(jìn)行篩選和聚焦，從而使得分辨率達(dá)到非常高的程度。
 

　　2.涉及到對(duì)輕的離子也要進(jìn)行分析，并且還需具備較好的靈敏度。這就要求其擁有相對(duì)較高的準(zhǔn)確度，以便更加準(zhǔn)確地檢測出分析物中有害氣體和雜質(zhì)等物質(zhì)。
 

　　3.可測試的氣體種類是相對(duì)較為廣泛的，可以應(yīng)用于多種氣體的檢測，并且不受測試環(huán)境變化干擾大，性能穩(wěn)定可靠。
 

　　光束質(zhì)量分析儀可以廣泛應(yīng)用于材料表面分析和化學(xué)組分分析等領(lǐng)域中。在材料表面分析方面，可以通過測量樣本表面產(chǎn)生的碎片離子來分析其成分、形態(tài)與化學(xué)狀態(tài)等信息。在化學(xué)組分分析方面，可以利用它來識(shí)別和測定復(fù)雜混合系統(tǒng)中的化學(xué)物質(zhì)。除此之外，還可應(yīng)用于低壓下氣相反應(yīng)和等離子體研究等領(lǐng)域，為科研和生產(chǎn)提供了有效的技術(shù)手段。